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靶材质量对大面积镀膜生产的影响
类别:澳门国际平台游戏与工业玻璃杂志  日期:2015-6-5  来源:  点击率:9048  打印 关闭
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摘  要:真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一。靶材作为磁控溅射镀膜使用的大宗原材料,其质量对膜层性能有很大的影响,同时会影响到镀膜的生产效率和成本,对大面积玻璃镀膜企业有很大的影响。本文结合生产实际使用情况,将靶材对镀膜生产影响的主要特征参数,包括靶材的密度、晶粒尺寸、纯度、与衬管(背板)连接质量等因素进行了分析和研究,并在其参数控制方面给予相关建议。


该篇文章刊登在《澳门国际平台游戏与工业玻璃》2015年第5期



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