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浅谈磁控溅射镀膜工艺中的反应溅射
类别:澳门国际平台游戏与工业玻璃杂志  日期:2019-4-17  来源:  点击率:3324  打印 关闭
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摘要:本文先容了磁控溅射镀膜工艺、磁控溅射设备、非反应溅射与反应溅射。反应溅射是一个非常复杂的过程。重点对反应溅射中的“直流氧化溅射 “阳极消失效应”“靶材中毒现象” “磁滞效应现象”“金属模式”“过渡模式”“反应模式”“反应溅射磁滞效应特征曲线”进行分析。在生产过程中,掌握反应溅射工艺的特点,合理控制溅射过程中的工艺参数,准确判断溅射工艺中的异常现象,利用有效的手段进行调整才能达到高效的溅射速率以及高质量的膜层性能,防止不良溅射现象的出现。

该篇文章刊登在《澳门国际平台游戏与工业玻璃》2019年第3




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